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基于片上模式变换器的硅锗光电探测装置制造方法及图纸
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下载基于片上模式变换器的硅锗光电探测装置的技术资料
文档序号:13018056
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本发明公开了一种基于片上模式变换器的硅锗光电探测装置,涉及光通信器件领域。该装置包括绝缘衬底、光耦合器、片上模式变换器、多模硅锗光电探测器,光耦合器、片上模式变换器、多模硅锗光电探测器顺次相连,且均固定在绝缘衬底的硅晶圆上,入射的基模光信号...
该专利属于武汉邮电科学研究院所有,仅供学习研究参考,未经过武汉邮电科学研究院授权不得商用。
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