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干涉及投影一体化非球面偏心检测仪及其检测方法技术
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文档序号:13013627
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干涉及投影一体化非球面偏心检测仪及其检测方法,属于光学检测技术领域。该检测仪包括激光光学系统A和激光光学系统B,所述的激光光学系统A底部固定设置多维位移平台A,所述的多维位移平台A下方配合设置多维位移平台B,所述的多维位移平台B下方配合设置...
该专利属于杭州志达光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州志达光电有限公司授权不得商用。
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