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本发明提供能够恰当地允许基板的搬出的基板容纳容器、加载端口装置以及基板处理装置。该基板容纳容器具有框体、搁板构件、对基板的端部进行支撑的框体用支撑构件、使基板移动的移动机构、盖、对基板的端部进行支撑的盖用支撑构件。框体用支撑构件具有将基板(...
该专利属于斯克林集团公司所有，仅供学习研究参考，未经过斯克林集团公司授权不得商用。

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