下载脆性材料基板的分断方法、基板保持构件及框体的技术资料

文档序号:13011285

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本发明关于一种脆性材料基板的分断方法,能够抑制分断脆性材料基板时的成本并且不会对后段步骤中的扩展实施带来妨碍。分断脆性材料基板的方法,具备:刻划线形成步骤,在脆性材料基板的一主面侧分断对象位置形成刻划线;基板黏贴步骤,将形成有刻划线的脆性材...
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