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本发明提供一种适于多波长干涉测量中起点位置对齐方法，提供的PZT驱“弓”字路径驱动方法结合算法实现了不同波长起始位置的对齐，弥补实际PZT驱动惯性造成的起始相移误差，提高了多波长干涉测量精度，提高了测量重复精度和可靠性；本发明所采用的技术方...
该专利属于湖北工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过湖北工业大学授权不得商用。

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