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本发明是有关于一种基板裂断装置，防止接触式裂断的问题即误差的产生或接触面的异物的产生，且使分断时的不良率减少。该基板裂断装置包含：吸气单元，以邻接于形成有刻划线的基板的面的方式设置，将形成有前述刻划线的面侧的空气吸入；排气单元，设于前述吸气...
该专利属于三星钻石工业股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过三星钻石工业股份有限公司授权不得商用。

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