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本实用新型涉及涂镀设备领域，尤其是一种石墨夹具涂镀设备，包括相互平行的正极板和负极板，所述正极板和负极板设置在真空室内，所述正极板和负极板由等离子发生器提供射频电源，所述正极板和负极板之间设置石墨夹具，所述真空室设有让含有保护层材料原子的气...
该专利属于南京华伯仪器科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京华伯仪器科技有限公司授权不得商用。

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