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文档序号:12994293
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本实用新型涉及一种曝光装置。一种曝光装置,包括曝光台,所述曝光台包括曝光盘及导气条,所述曝光盘包括位于所述曝光盘的中部的承载区,所述曝光盘开设有的导气槽,所述导气槽位于承载区外侧;所述导气条形成有抽气槽,所述导气条固设于所述承载区且自所述承...
该专利属于深圳华祥荣正电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳华祥荣正电子有限公司授权不得商用。
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