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本发明提供自动试样片制作装置，其使取出通过利用离子束的试样加工而形成的试样片并将其移设到试样片保持器的动作自动化。该自动试样片制作装置具备计算机，该计算机以在试样片与柱状部之间形成沉积膜的方式控制带电粒子束照射光学系统、试样片移设单元和气体...
该专利属于日本株式会社日立高新技术科学所有，仅供学习研究参考，未经过日本株式会社日立高新技术科学授权不得商用。

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