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本发明涉及一种织构化无铅压电陶瓷多层驱动器及其制备方法，该驱动器包括：叠层设置的多层织构化陶瓷厚膜，包括分别印刷有层状电极的陶瓷面层、至少一层陶瓷内层和陶瓷底层；贯穿所述陶瓷面层和陶瓷内层的第一通孔；贯穿所述陶瓷内层和陶瓷底层的第二通孔；填...
该专利属于中国科学院上海硅酸盐研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海硅酸盐研究所授权不得商用。

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