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本实用新型提出了一种大面积类金刚石化学气相沉积镀膜生产线，其特征在于包括依次连接的进升降架、进初抽气室、进精抽室、进调气室、进过渡室、工艺室、出过渡室、出调气室、出精抽室、出初抽气室、出升降架、与工件架适配的工件回行轨道组成连续循环生产的运...
该专利属于河源市璐悦自动化设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河源市璐悦自动化设备有限公司授权不得商用。

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