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基于石墨烯/二硫化钼异质结的微环谐振腔电光调制器制造技术
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下载基于石墨烯/二硫化钼异质结的微环谐振腔电光调制器的技术资料
文档序号:12956723
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本发明公开了一种基于石墨烯/二硫化钼异质结的微环谐振腔电光调制器,包括基底层、直光波导、微环谐振腔波导及石墨烯覆盖层,直光波导和微环谐振腔波导嵌入基底层内,且所述直光波导和微环谐振腔波导之间留有耦合间距,所述石墨烯覆盖层部分覆盖在微环谐振腔...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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