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金属‑绝缘体‑金属二极管及制造方法技术
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文档序号:12953628
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本文提供了涉及金属‑绝缘体‑金属二极管及其制造方法的实施例。在一些实施例中,金属‑绝缘体‑金属二极管能够部分地经由在光致抗蚀剂上使用衰逝波来制成。在一些实施例中,允许更精细地操纵光致抗蚀剂且允许一个金属片分离成第一金属片和第二金属片。第一金...
该专利属于英派尔科技开发有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过英派尔科技开发有限公司授权不得商用。
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