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一种高鲁棒性的高压静电放电保护器件制造技术
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文档序号:12947651
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一种高鲁棒性的高压静电放电保护器件,包括:P型衬底,在P型衬底上设有埋氧化层,在埋氧化层上设有N型外延层,在N型外延层的上部设有第一低压N型阱、第一低压P型阱,在第一低压N型阱内设有N型阴区,在第一低压P型阱内设有P型阳区,在N型外延层的上...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
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