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一种真空镀膜设备制造技术
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文档序号:12932206
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本实用新型公开了一种真空镀膜设备以及真空镀膜的方法,该真空镀膜设备包括气相沉积室、支架以及导气柱,支架设置于气相沉积室内且用于放置待镀膜工件,支架包括支架柱,导气柱呈中空状且在导气柱的侧壁上设置有多个第一通气孔,支架柱呈中空状且支架柱的侧壁...
该专利属于深圳市大富精工有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市大富精工有限公司授权不得商用。
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