下载一种红外量子阱光电探测器的吸收结构的技术资料

文档序号:12917086

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本发明公开了一种红外量子阱光电探测器的吸收结构,属于亚波长光子学中光学器件领域。该吸收结构用于耦合入射电磁波到量子阱活性区域,包括上金属层、中间半导体层和下金属层,其中,上金属层为周期性的金属方块阵列,中间半导体层为量子阱层,下金属层为表面...
该专利属于南京大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京大学授权不得商用。

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