下载分区吸附控制器的技术资料

文档序号:12906246

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本发明涉及一种吸附装置,尤其是分区吸附控制器。该吸附装置包括主管路和真空泵连接孔,主管路上端设有真空泵连接孔,主管路侧端与两个以上的分管一与两个以上的分管二相连通,分管一上设有控制阀一,分管二上设有控制阀二,该吸附装置能够分别控制不同的吸附...
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