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具有立体基板的微机电麦克风封装结构制造技术
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文档序号:12906135
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本发明公开了一种具有立体基板的微机电麦克风封装结构,其包含有一立体基板、一盖板以及一声波传感器。其中,立体基板具有一承载底部与连接承载底部的一侧壁,盖板罩于立体基板上并连接侧壁形成一腔室,并且盖板或立体基板的外表面设有至少一焊盘。声波传感器...
该专利属于美律电子(深圳)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过美律电子(深圳)有限公司授权不得商用。
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