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一种含有功能绝缘层的有机场效应管氨气传感器制造技术
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文档序号:12892410
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本发明公开了一种含有功能绝缘层的有机场效应管氨气传感器,包括从下至上依次设置的衬底、绝缘层a、功能绝缘层、绝缘层b、有机半导体层,有机半导体层上设置有源电极和漏电极,衬底与绝缘层a之间还设置有栅电极,所述绝缘层a、绝缘层b由不含羟基的聚合物...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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