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一种半导体结构的形成方法,包括:提供半导体衬底,半导体衬底包括第一区域和第二区域,第一区域与第二区域导电类型不同;在第一区域形成至少一个第一伪栅极结构,第一伪栅极结构包括第一伪栅极,在第二区域形成至少一个第二伪栅极结构,第二伪栅极结构包括第...该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。
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一种半导体结构的形成方法,包括:提供半导体衬底,半导体衬底包括第一区域和第二区域,第一区域与第二区域导电类型不同;在第一区域形成至少一个第一伪栅极结构,第一伪栅极结构包括第一伪栅极,在第二区域形成至少一个第二伪栅极结构,第二伪栅极结构包括第...