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光纤F-P腔应力释放压力传感器制造技术
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文档序号:12885466
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本实用新型公开的一种光纤F-P腔应力释放压力传感器,包括制有F-P腔的上插芯,与上插芯轴向固联为一体的下插芯和插入所述下插芯的光纤,以及覆盖在所述F-P腔端口的压力膜片,其中所述压力膜片与上插芯连接形成F-P腔。在所述压力膜片的键合区域和感...
该专利属于成都凯天电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过成都凯天电子股份有限公司授权不得商用。
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