下载一种硅片亲水性检测平台的技术资料

文档序号:12883191

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本发明公开了一种硅片亲水性检测平台,包括:载片基板,所述载片基板的正面具有凹槽,所述凹槽用于承载待测硅片,所述凹槽的底面与所述载片基板的表面平行;刻度标尺,所述刻度标尺设置于所述载片基板上,沿着所述载片基板与所述凹槽的相交线设置,用于在硅片...
该专利属于浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司授权不得商用。

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