下载一种多次给直拉单晶炉加料的装置的技术资料

文档序号:12880712

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本发明涉及一种多次给直拉单晶炉加料的装置,包括固定樑、提臂、抓手可一定角度旋转,抓手固定轴端头固定抓手,固定樑的长臂端有沿长臂方向的矩形开口,在开口两侧壁有数个销孔,孔径与提臂的通孔孔径相同,提臂插于固定樑的矩形开口内并用销子固定于固定樑上...
该专利属于天津市环欧半导体材料技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过天津市环欧半导体材料技术有限公司授权不得商用。

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