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小型压力传感器制造技术
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文档序号:12879636
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本发明公开了一种小型压力传感器,具体公开了一种小型微熔硅应变计(MSG)传感器,该传感器结合了偏置弹簧以及送入部。该压力传感器包括弹簧,所述弹簧具有由位于中间的盘绕中央段偏置开的第一盘绕段和第二盘绕段,所述弹簧用于实现两个电接触垫之间的偏置...
该专利属于森萨塔科技公司所有,仅供学习研究参考,未经过森萨塔科技公司授权不得商用。
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