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在基板、研磨轮和覆盖物中形成凹槽的方法技术
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文档序号:12879056
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本发明公开了一种在基板的表面中形成凹槽的方法,包括:提供包括沿支撑构件的周向表面设置的结构化磨料构件的磨料制品,使得所述结构化磨料层与基板的表面摩擦接触,相对于所述基板的所述表面纵向推进所述结构化磨料层;以及使所述磨料制品或所述基板中的至少...
该专利属于3M创新有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过3M创新有限公司授权不得商用。
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