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本发明涉及一种真空离子束抛光机控制系统，包括有真空控制单元、离子源控制单元、离子源运动控制单元、PLC控制器、I/O扩展模块、上位机和人机交互屏。真空控制单元、离子源控制单元通过PLC控制器与上位机通讯连接，离子源运动控制单元与上位机之间通...
该专利属于中国兵器科学研究院宁波分院所有，仅供学习研究参考，未经过中国兵器科学研究院宁波分院授权不得商用。

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