下载楼层式微机电麦克风的技术资料

文档序号:12875206

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本发明公开了一种楼层式微机电麦克风,包含有:一腔体,由多数电路板层叠而成且具有垂直连通的第一腔室与第二腔室,该第二腔室的截面积小于该第一腔室的截面积,该腔体具有连通该第二腔室的音孔;一微机电芯片,位于该第二腔室内,并与该腔体之间形成电性导通...
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