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含氟水溶液的处理方法技术
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文档序号:12875015
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本发明提供能够以短时间进行含氟水溶液中的氟离子与二硅氧烷化合物的反应的、高效的含氟水溶液的处理方法。该含氟水溶液的处理方法包括如下的反应工序:将含氟水溶液和通式RaRbRc SiO SiRdReRf(式中,Ra、Rb、Rc、Rd、Re和Rf...
该专利属于大金工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过大金工业株式会社授权不得商用。
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