下载一种芯片的密封环的技术资料

文档序号:12872466

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本申请提供了一种芯片的密封环。该密封环包括多层金属层叠结构,各层金属层叠结构包括:金属布线层,包括金属层和介质材料部;层间介质层;过孔,贯穿层间介质层设置,将相邻的金属层叠结构耦连,密封环还包括一个或多个金属墙,金属墙包括:主体部,贯通各金...
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