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本实用新型公开了一种二氧化碳气体超微流速控制系统，包括单向阀、离子源与质量流量计，其中所述单向阀的进口处设有二氧化碳进气管，单向阀的出口处设有第一三通阀，所述质量流量计与第一三通阀的另一侧相连，质量流量计的另一侧设有氦气进气管，第一三通阀的...
该专利属于中国科学院地球环境研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院地球环境研究所授权不得商用。

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