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一种光学轮廓测量装置制造方法及图纸
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文档序号:12867013
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本实用新型提供一种光学轮廓测量装置,能够排除被测物体颜色的干扰性,提高光学轮廓测量的准确性。所述装置包括:在光路中设有一块密布微小通光孔隙的遮光板及设在所述遮光板一侧的光学成像器件;其中,在测量过程中,被测物体被测面贴近所述遮光板的另一侧;...
该专利属于北京科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京科技大学授权不得商用。
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