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本发明涉及具有内部凝聚位点的高灵敏度蒸气室结构。一种微制作式原子钟mfac或磁强计mfam蒸气室，其利用形成用于所述原子钟或所述磁强计的自凝聚硅蒸气室腔结构的方法。...
该专利属于德州仪器公司所有，仅供学习研究参考，未经过德州仪器公司授权不得商用。

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