下载贴合基板的分断方法及分断装置的技术资料

文档序号:12855200

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本发明涉及一种贴合基板的分断方法及分断装置,其课题在于提供可适宜地分断贴合基板的方法。本发明的解决手段如下。本发明是将贴合两个脆性材料基板而成的贴合基板在规定的分断预定位置进行分断的方法,所述方法具备:划线形成步骤,在所述贴合基板的一个主面...
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