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本发明涉及复合涂层制备的技术领域,公开了一种多元复合涂层的制备系统及其方法,该系统包括:多个弧源,用于对多种靶材分别起弧对应产生多种等离子体,并使多种等离子体运动;磁场管道,用于通过磁场约束并均匀混合多种等离子体,并使其同时到达待加工基体的...该专利属于深圳市金洲精工科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市金洲精工科技股份有限公司授权不得商用。
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本发明涉及复合涂层制备的技术领域,公开了一种多元复合涂层的制备系统及其方法,该系统包括:多个弧源,用于对多种靶材分别起弧对应产生多种等离子体,并使多种等离子体运动;磁场管道,用于通过磁场约束并均匀混合多种等离子体,并使其同时到达待加工基体的...