下载基板支承用槽棒及使用该槽棒的基板载具的技术资料

文档序号:1284906

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种基板支承用槽棒,其包括一支承棒及一金属棒,该支承棒包括一具轴向贯穿孔的本体,该金属棒插设于该本体的贯穿孔内,其特征在于:该支承棒又包括多个设置于该本体一侧的支承板,该支承板自本体以间隔突出,相邻支承板间的间隔形成支承基板的支承槽。...
该专利属于鸿富锦精密工业(深圳)有限公司、沛鑫半导体工业股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过鸿富锦精密工业(深圳)有限公司、沛鑫半导体工业股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。