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本发明揭示了一种喷头调节机构，包括：基座、调节轴、喷头固定块和喷头。基座的一端具有夹紧块，基座沿X向设置。调节轴安装在夹紧块上，调节轴能相对于夹紧块绕Z向轴旋转，调节轴还能相对于夹紧块沿Z向轴移动。喷头固定块转动安装在调节轴的底端，喷头固定...
该专利属于盛美半导体设备(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过盛美半导体设备(上海)有限公司授权不得商用。

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