下载晶圆激光切割方法的技术资料

文档序号:12843679

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本发明公开了一种晶圆激光切割方法,该晶圆激光切割方法包括:提供晶圆,该晶圆包括正面和与该正面相对应的背面,在所述晶圆的背面贴附胶膜,通过激光切割工艺自所述晶圆的正面向其背面进行切割,所述激光切割工艺包括激光发生器发出激光,对激光通过光路构件...
该专利属于深圳市韵腾激光科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市韵腾激光科技有限公司授权不得商用。

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