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本发明公开一种确定AlGaN外延层中Al组分的测试方法，包括步骤：S1、利用X射线衍射仪，以AlN层作为假设衬底，在样品104方向找出最强峰，以此最强峰为中心做ω-2θ同步单扫描曲线，根据测试样品在该曲线上找到一个中心点；S2、根据该中心点...
该专利属于中国电子科技集团公司第四十四研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第四十四研究所授权不得商用。

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