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一种微机电系统(MEMS)装置在一个实施例中包括限定出背腔的基板、背腔之上的膜、膜之上的背板和至少部分地定位于膜正下方且由背板支撑的第一超程止挡部(OTS)。...
该专利属于阿库斯蒂卡公司;罗伯特·博世有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过阿库斯蒂卡公司;罗伯特·博世有限公司授权不得商用。

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