下载四级真空系统的技术资料

文档序号:12822145

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本实用新型涉及一种四级真空系统,它包括支架(1),支架(1)顶部设置有第一罗茨真空泵(2)和第三罗茨真空泵(4),第一罗茨真空泵(2)和第三罗茨真空泵(4)下方分别设置有第二罗茨真空泵(3)和液环真空泵(5),第一罗茨真空泵(2)与第二罗茨...
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