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基于石墨烯/硅的接触势垒场效应管及其制备方法技术
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下载基于石墨烯/硅的接触势垒场效应管及其制备方法的技术资料
文档序号:12821658
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本发明公开了一种基于石墨烯/硅的接触势垒场效应管,自下而上依次包括栅极、n型硅衬底和二氧化硅隔离层,所述的二氧化硅隔离层上开有窗口,窗口两侧的二氧化硅隔离层表面上分别具有源极和漏极,所述的接触势垒场效应管还包括石墨烯导电通道层,石墨烯导电通...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。
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