温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种用于沉积涂层的方法包括在管状结构的内部体积内产生真空，其中所述管状结构也包括内表面。将气体供给至所述管状结构的内部体积，其中所述气体包括气相中的等离子体前体。所述管状结构相对于接地偏压。形成具有密度并沿着所述管状结构的长度周期性设置的等...
该专利属于西南研究院;国际壳牌研究有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西南研究院;国际壳牌研究有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。