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MEMS器件校准制造技术
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文档序号:12819383
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一个示例公开了一种MEMS器件,所述MEMS器件包括:具有内部环境的空腔;将所述内部环境与所述MEMS器件外的外部环境相隔离的密封,其中所述密封易于响应于校准解封能量而被损坏,并且,在所述密封损坏时,形成耦合所述内部环境与所述外部环境的通路...
该专利属于ams国际有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过ams国际有限公司授权不得商用。
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