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公开了在立式炉中移动衬底的衬底载具系统和处理衬底的方法。在一些实施例中，一种用于氧化材料或沉积材料的方法包括通过衬底载具承载多个衬底和将衬底载具插入立式炉内，其中多个衬底由衬底载具保持在预定位置，其中多个衬底中的在预定位置中的一个位置处的衬...
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