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本发明涉及一种滤光片真空蒸镀设备,包括安装板、转位机构、水冷盘机构及蒸发舟,转位机构穿过安装板并挂设在安装板上,穿过安装板的转位机构的一端与水冷盘机构驱动连接,安装板上设置有第一电极和第二电极,沿水冷盘机构的外圈和内圈上分别插接有12根外电...该专利属于苏州奥夫特光学技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州奥夫特光学技术有限公司授权不得商用。
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本发明涉及一种滤光片真空蒸镀设备,包括安装板、转位机构、水冷盘机构及蒸发舟,转位机构穿过安装板并挂设在安装板上,穿过安装板的转位机构的一端与水冷盘机构驱动连接,安装板上设置有第一电极和第二电极,沿水冷盘机构的外圈和内圈上分别插接有12根外电...