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MEMS结构体、电子设备以及移动体制造技术
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文档序号:12811064
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本发明提供MEMS结构体、电子设备以及移动体,所述MEMS结构体具有优异的频率特性,所述电子设备以及移动体具有该MEMS结构体。本发明的MEMS结构体(1)具有:基板(2);配置于基板(2)的下部电极(51);上部电极(53),其具有与下部...
该专利属于精工爱普生株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。
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