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本发明涉及一种光学位置测量装置，获取能彼此相对地沿至少一个测量方向运动地布置的第一和第二整体量具的相对位置。在分离光栅处由光源发射的光束分离成至少两个子射束。子射束在经过扫描光路时经历不同偏振光学作用。不同偏振的子射束在合并光栅处重新合并后...
该专利属于约翰内斯·海德汉博士有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过约翰内斯·海德汉博士有限公司授权不得商用。

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