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本发明公开了一种单激励超声椭圆振动微细加工工作平台，包括隔振平台、横向移动工作平台、纵向移动工作平台、壳体单元、置于壳体单元内的超声振动换能器、超声波电源、椭圆振动模态转换器和设置在椭圆振动模态转换器前端的小型工作平台。所述的壳体单元包括前...
该专利属于苏州科技学院所有，仅供学习研究参考，未经过苏州科技学院授权不得商用。

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