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本发明公开一种用于光刻设备的工件台方镜面形误差漂移补偿方法，包括：步骤一、校准参考温度和压力下的该长条镜的面形误差；步骤二、测试不同温度和压力时该长条镜的面形误差，根据不同温度和压力的该长条镜面形误差拟合该长条镜面形误差变化量随温度和压力变...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

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