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洁净室冷热气流断面诱导平衡系统技术方案
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文档序号:12791554
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本实用新型属于洁净室净化技术领域。一种洁净室冷热气流断面诱导平衡系统,包括左、右对应设置的低温洁净室和高温洁净室,在低温洁净室和高温洁净室上均分别设置有风送系统,在所述的低温洁净室和高温洁净室的外侧分别设置有低温互锁缓冲间和高温互锁缓冲间,...
该专利属于周兴旭所有,仅供学习研究参考,未经过周兴旭授权不得商用。
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